它是一種用于超高真空中的法蘭連接，是一種金屬靜密封，可以承受高溫烘烤。公稱直徑尺寸包括：DN16, 40, 63, 100, 160, 200，250.適用的真空度Z高達10-12 mbar.法蘭密封材料通常為Viton、PTFE、無氧銅等。法蘭通常為 304、316 不銹鋼等。

  CF真空法蘭其主要密封方式是金屬密封即銅墊片密封，可以承受高溫烘烤。

需要注意的是銅墊片在使用一次后密封效果會很差，如果對真空度要求較高的系統，法蘭每拆卸一次，就需要更換墊片。

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